Old Boy returns -IBM Also-
IBM Also...Intel さんが High-k / Metal Gate やるのは、まあ既定の事実、みたいなもので、問題は、うまく行ってるの、や、いつから出てくるの、だったんだと思います。ちょっと驚いたのは、Intel さんの Announce を追いかける形で、 IBM さんも Hk/MG をやりますを Announce されたことです。IBM さんが Hk / MG の研究を進めて居られるのは周知、というか、別に IBM さんに限らず、およそ論理回路 や SRAM やっているところはどこでも Hk / MG の研究はそれぞれに、あるいは共同で 進めて居られて、Hk / MG のようなトランジスタ構造の研究は IBM さんの得意分野でも あるし、かなり進んで居られるだろう、は衆目の一致するところです。しかし、IBM さんのグループは 45nm 世代でも、SiO2 ゲート酸化膜が延命可能で Hk / MG の採用は見送 られるだろう、も、一般的な理解でした。現に、直近の昨年 12月の IEDM での IBM / AMD 連合の 発表も、東芝 / Sony / NEC エレクトロニクス連合の発表も、45nm での商用プロセスとして Hk / MG には触れていません。(というか、素直に読めば、採用しない、と読めそう。この ソニーの服部毅さんの IEDM 2006 レポートにも、「(上記 2グループを含む、日米欧 での 45nm の商用技術として) 信頼性が保証されないHigh-k/メタルゲートの使用は、 先送りされた。」と書かれています)
それがたった一月半で、まるで引っくり返る、とは、考えにくくて、しかも Timing が Timing ですから、例によって東スポさんに、Intel さんのリリースをカンニングして「自分たちもやってます」を言うために慌てて出したんじゃないの、言葉遣いが似すぎてる... とか冷やかされているん ですが、お得意の言いがかり、とだけは言えないような気もします。いつかは Hk / MG だ、は、これも微細化を進めていこうとすれば当たり前の話で、ただ、65nm で半導体作っているところの全てが、Hk / MG での半導体製造を、自社でやるのか、それとも自社ではやらずに Fab 専業に委託するのか、は、別の話であり、そこで一層の集約化が進む、も容易に想像できます。集約化の別の側面としては、さすがに Hk / MG での技術開発を独力、なり、自社主導でやる、は投資が大きすぎる、技術開発のグループ化なり、自社での開発は従で、基本はリーダー会社からの技術導入を選択する、も当然ありうる路線であり、「独自」はなかなか難しくなってくる、もありますから、そういう意味では、「自分(たち)もやります、やってます」をわざわざ言う、には大きな意味があります。しかし IBM さんは「独自」でも「グループのリーダー」でも良いですが、「やります、やってます」なのは自明で、IBM さんに限っては、こういう揚げ足取られかねないような形で「やります、やってます」を言う必要がある、とも思えません。!
もう一つ、解釈が難しいのは IBM さんがこのリリースで、"The creation of this transistor component with the new material was accomplished by the IBM team without requiring major tooling or process changes in manufacturing" と言って居られることで、まあ、Major ってどこまで言うのかという「言葉の綾」かも知れないんですが、全く新しい材料を現行の製造プロセスに大きな変更を加えずに捌く、は、普通はそうは行かないし、仮に出来たとしても、効率なり、歩留まりが十分確保されるとは思えないんですけどね。アプローチの違い、というか、新しい材料での、Best な (新しい) Tooling なり Process は、マダマダ「やってみないと分からない」んだから、最初から「Best を目指す」全く新しいプロセスで臨むよりも、現行プロセスの最小限の手直しでやってみて、本格的な New Process 構築のために、まず Data を集めよう、なのかも知れません。45nm での量産はまず SiO2 で、でも、次世代への Experimental のための Hk / MG も (45nm on SiO2 の最小限ぁ� N
( Apr 15 2007, 07:19:25 AM PDT ) Permalink
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